二手 KLA / TENCOR / THERMA-WAVE TP 400 #293666901 待售
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KLA/TENCOR/THERMA-WAVE TP 400是一款先進的半導體晶片和芯片離子植入器和監控設備。它為半導體行業的設備制造商提供離子束植入服務，其主要特點使其在工藝開發和生產操作中更快、更經濟。KLA TP 400系統利用高能二極管源，產生和控制單電荷離子，形成高度可預測的劑量分布。它還支持各種光束源，允許一系列的應用，包括端點和微觀植入。一個先進的氣體反應堆收集、儲存和分配離子種類，允許對設備進行各種過程的編程。該機配備了最新的離子植入技術，確保了最先進的晶圓監控。它有一個高速掃描工具同時基板監測和均勻性。它還具有使晶片在x、y和z軸上精確對齊的粒子幀驅動，以及高速、精確植入多個晶片的快速傳輸資產。該模型能效高，為最終晶圓操作提供了低成本的解決方案。它具有高效的多蒸氣輸送設備和先進的工藝模擬能力。其機器人加載和機器人卸載系統提供高速、精確的存儲和處理。KLA先進的TENCOR TP 400離子植入器和監控系統在性能和可靠性方面處於行業領先地位。其獨特的特性使其成為生產級別結果和經濟高效解決方案的理想選擇。該單元提供了簡單的操作和維護，並通過高速掃描和精密離子控制加快了離子植入過程。先進的設備確保用戶能夠以最大的效率生產晶片和芯片。
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