二手 KLA / TENCOR / THERMA-WAVE TP 420 #293636349 待售

KLA/TENCOR/THERMA-WAVE TP 420離子植入器&Monitor是一種先進的半導體加工設備，利用離子植入器技術控制電子元件生產中的摻雜水平。KLA TP 420具有圍繞緊湊、低成本平臺開發的強大設計,非常適合在生產離散設備、內存芯片和集成電路時需要精確摻雜劑控制的應用。該系統配備了多個先進組件，包括高壓電源、光束偏轉器和離子源。高壓電源向離子源供電，產生離子束。光束偏轉器利用磁場控制離子束的路徑，允許離子精確且可重復地傳遞到目標。離子源能夠產生各種不同的摻雜物種類，為單位提供滿足廣泛生產需求所需的靈活性。該機具有高度精確和可重復的光束定位工具，允許在需要的地方提供可重復的離子植入劑量。它還配備了自動晶圓處理資產，允許在沒有人工幹預的情況下持續、不間斷地運行。內置晶圓收集器可防止離子逸出模型,從而確保只植入所需的數量。該設備能夠在-4°至75°C的廣泛溫度範圍內運行,並且可以輕松調整以獲得最佳性能。TENCOR TP 420還配備了全自動監控系統，使其能夠連續檢查整個單元的性能和輸出，進一步提高其可靠性。機器還具有控制界面，允許最終用戶根據需要快速調整刀具設置和參數。綜上所述，THERMA-WAVE TP 420離子植入器和顯示器是一種先進的離子植入器和顯示器，非常適合半導體生產。它具有堅固的設計、先進的組件和許多功能,為電子組件的生產提供了必要的準確性和可靠性。其先進的監控資產、自動晶片處理和可調節的溫度水平使其成為需要精確摻雜劑控制的應用的理想模型。