二手 KLA / TENCOR / THERMA-WAVE TP 420 #293820035 待售

KLA/TENCOR/THERMA-WAVE TP 420是一種革命性的離子植入器和監控設備，旨在對植入過程中釋放的離子粒子濃度提供一致而準確的控制。這是通過創新使用基於近實時邊緣檢測的統一監控平臺來實現的。借助該平臺，系統能夠快速檢測離子濃度變化，並相應調整運行參數。KLA TP 420利用高功率、中等能量的離子束,可以量身定制以更好地匹配所需的植入輪廓。這是通過控制光束電流、其大小以及到達目標樣品所需的時間來完成的。此外，該裝置采用自動調諧和熱補償，以便對光束進行更精確的控制，從而實現所需的植入輪廓。TENCOR TP 420還包含了許多先進的功能，使植入過程更容易和更具成本效益。它提供了一種高分辨率、單音X射線源，用於產生植入目標的高分辨率圖像，減少了由於不正確對齊而導致植入不準確的風險。機器還包括一個控制臺，允許遠程監控和控制植入過程，使其更容易調整植入參數，而不會離開你的工作站。此外，THERMA-WAVE TP 420擁有多項精密的安全功能。這些功能包括輻射防護系統、冷卻工具和視覺補償資產,確保模型安全高效地運行。設備還可以配備緊急關機開關，確保附近所有工作人員的安全。總體而言，TP 420是一個令人難以置信的創新和先進的工具，用於精確和精確控制離子植入。該系統非常適合半導體器件制造和沈積等應用，以及其他基於離子/表面的應用。此外，KLA/TENCOR/THERMA-WAVE TP 420的先進特性和多功能性使其成為許多不同工業和研究實驗室的重要工具。