二手 LINTOTT Series III #9223576 待售

ID: 9223576
Ion implanter Includes spare parts and electronics.
LINTOTT Series III是一款高度先進的離子植入器和監視器,具有多種功能,可以從頭到尾高效監控每個植入物。該設備能夠產生非常緊密的光束擴散,使操作員能夠通過精細的粒度控制可靠地增強植入能量。Series III還具有利用多達20個波束通道以最大限度地提高效率和確保明確的植入物輪廓的能力。該系統采用三重源配置以獲得最佳性能。主要的離子源是一種具有可調光束調諧和可調離子光學設計的高能​​氙離子植入器。二次離子源也可用於需要低能量、高劑量植入物的應用。最後,該單元包括一個三級單色氘核源,以實現更好的植入物均勻性和電池壽命延長。為了獲得最大的控制和精度,LINTOTT Series III還配備了內置離子植入器控制器和集成光束電流監視器。控制器為用戶提供可調劑量率,實現植入物的精確對準,並提供主動監控,以確保植入物保持在工藝規範內。板載光束電流監視器允許在整個植入過程中實時監測植入物電流水平。除了基本配置,Series III機還可以配備可選的High-Throughput In-Field Monitor,一種先進的光學掃描工具,在植入過程中實時監控植入物輪廓,提供光束的詳細3D映射。集成的監視資產可以配置為提供額外的參數化信息,如梁分布、間距值、範圍和總體大小。最後,LINTOTT Series III提供10年保修,涵蓋所有基本組件和部件。這款車型高度可靠,設計提供多年不間斷、強大的性能。強大的平臺和用戶友好的設計使其非常適合需要精確植入和監控的生產環境和過程。
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