二手 NISSIN Exceed 2000 AH #293647879 待售
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NISSIN Exceed 2000 AH是一種離子植入器和監測器,對摻雜劑的擴散和半導體制造的精確度提供了較好的控制。它旨在確保卓越的摻雜精度和工藝性能,同時幫助降低成本。NISSIN EXCEED 2000AH匯集了先進的離子植入技術和NISSIN Process Monitor集成,提供了最高水平的離子植入精度和可靠性。超過2000 AH具有高壓、單源離子植入器和全面的監控包廣泛的過程控制。它擁有改進的快門設計,允許容易植入和端點檢測精度。集成的離子源能夠準確地植入具有豐富離子束流度、均勻垂直輪廓和極低汙染物的離子。EXCEPT 2000AH還包括一個改進的光束監測設備,這使得能夠優越的過程控制和防止離子束誤導。NISSIN Exceed 2000 AH具有改進的光束聚焦系統和超寬頻率範圍,以提供增強的過程控制。NISSIN EXCEED 2000AH還提供了對植入周期所有主要參數的增強控制和監控,具有定義植入點、監控濃度和快速檢測端點的能力。此外,Except 2000 AH使用多個探測器,包括熱電偶和同步加速器探測器,在摻雜控制方面達到最大精度。EXCEPT 2000AH包括NISSIN FPM(傅立葉處理器監控器),確保將摻雜劑準確植入半導體基板。FPM還具有廣泛的工藝功能,允許以最小的努力獲得可靠和可重復的植入特性,如均勻的垂直剖面、離子束通量和精確劑量剖面的合成。NISSIN Exceed 2000 AH提供了多種功能,以幫助確保最佳的過程控制、提高設備性能和降低成本。其中包括改進的表面覆蓋範圍、改進的監視和控制(M&C)、高級分析功能、遠程診斷和審計以及改進的機器控制,以及晶圓基板溫度和離子束電流的全自動控制。此外,NISSIN EXCEED 2000AH設計為易於與現有的流程控制系統集成,以提高流程性能。總體而言,Except 2000 AH提供了廣泛的高級功能,以確保卓越的離子植入精度和可靠性。它為嚴格的過程控制提供了一個有效、經濟高效的解決方案,從而提高了產量並減少了半導體缺陷。EXCEED 2000AH具有自動化控制、提高精度和改進監控功能,是半導體制造的理想解決方案。
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