二手 NISSIN Exceed 2000A #293738565 待售

NISSIN Exceed 2000A
ID: 293738565
晶圓大小: 8"
Ion implanter, 8".
NISSIN Exceed 2000A離子植入器和監控器是一種在半導體工業中廣泛使用的令人印象深刻的機器。它是一種先進的離子植入器,具有最高的離子植入精度,可以讓你精確控制樣品的地下輪廓,達到最高質量標準。NISSIN EXCEED 2000 A具有高達5000 μ A的遠光束電流,允許精確和速度達到低和高摻雜濃度。其廣泛的能量範圍允許從100 eV到45 keV的離子植入物具有高達10eV的動態能量範圍。這使得許多不同的應用,從簡單的Si摻雜劑到先進的III-V化合物半導體。Except 2000A具有快速平行光束掃描系統,可實現高達198毫米/分鐘的速度,並具有出色的屏蔽效果,以提高光束線的穩定性。其他功能包括精密的機動化源截面和網格板,可提供通用的傾斜角和高達± 30°的偏轉角,不需要對齊時間。EXCEED 2000 A的現代數字氣體面板,連同其連續的氣體流量和質量流量控制器,對植入速率進行了高精度的調節。它還包括一個氮氣(N2)清除系統,以改進背面充電和更好的均勻性。該系統允許通過包括自動化過程監控來加強過程控制。這包括燈絲的溫度控制、束電流、加速偏置、壓力真空和氣流。這些變量有助於保持一個變化最小的統一最終產品。NISSIN Exceed 2000A易於維護,使用的是生命周期維護任務,這些任務僅需計算機操作員的最少努力即可完成。其用戶友好的設計也使得它易於使用,允許任何人從新手到訓練有素的技術人員操作它。NISSIN EXCEED 2000 A ion implanter and monitor is a really amazing machine which can help you repeatable results.憑借其遠光束電流、動態能量和掃描速度、精度和易用性,它是滿足半導體行業需求的最佳可用機器之一。
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