二手 NISSIN Exceed 2300AV #198070 待售

NISSIN Exceed 2300AV是一種提供卓越性能和多功能性的離子植入器和監視器。機器可以將硼、磷或氧等各種離子植入各種半導體材料中。它能夠以8MeV 5V的精度植入最大±能量的離子，占空比為每小時1.1%。這允許離子精確和可重復的熱擴散到底物，這有助於減少設備的可變性和使復雜的晶體管設計。Except 2300AV還配備了一個多網格監視器,它提供有關植入離子的實時信息,從而可以高效、準確地控制光束電流。獲得專利的SCALON Focus系統提供極好的輻照精度,線寬可達0.27 µm,總離子束電流精度± 1%,確保每個設備都包含正確的離子水平。此外，VIBEJET離子束使離子的均勻註入具有1%的均勻能量擴散。NISSIN Except 2300AV還具有卓越的非統一補償技術。這包括一個均勻性校正算法，通過在植入過程中調節光束電流、植入物角度和光束在晶圓上的劑量，使植入物輪廓中的非均勻性最小化。這為單個晶片上的所有設備提供了更好的產量和統一的性能。總體而言,Except 2300AV是一種用途廣泛、可靠的離子植入器和監視器,具有多網格監視器、SCALON聚焦系統和VIBEJET離子束等功能,可提供卓越的性能。其非統一補償技術確保了設備性能的統一,有助於確保經濟高效的生產和縮短上市時間。