二手 NISSIN Exceed 300AH #9103092 待售

NISSIN Exceed 300AH
ID: 9103092
晶圓大小: 8"-12"
Ion implanter, 8"-12".
NISSIN Exceed 300AH是一種高度通用和可靠的離子植入器和顯示器,旨在制造高度精確的半導體器件。它是精密半導體器件制造商的理想選擇,因為它可以進行高精度的光離子植入,如硼、磷、砷,以及較重的金屬離子,如銅、金、銀。Except 300AH具有雙模過程控制技術,用於監視和控制離子植入操作,以確保傳遞的能量和劑量保持在預定的範圍內。這種雙模過程控制技術還具有改變植入參數實時均勻調節劑量的能力,保證植入操作的高精度和精確度。此外,利用其內置的掃描檢測器系統,能夠自動檢測和調整參數,以實現最優植入。NISSIN Exceed 300AH的模塊化設計為用戶提供了擴展離子植入安裝的靈活性,以及許多外圍設備組件。這些組件包括目標反射器、掃描控制器、離子源電源、檢測器表和低壓連接器。Except 300AH還擁有一個完全集成的電源系統,在整個植入周期中確保穩定可靠的能量,從而延長組件的壽命。而且,它集成了一個低壓檢測器,使用戶能夠在植入操作過程中監控植入過程。這確保了所有沈積的離子都在同一深度植入,從而導致更嚴格的植入控制。此外,NISSIN Except 300AH包括復雜的診斷,以優化底物溫度和顆粒均勻性.它提供了自動噴嘴定位器,通過確保均勻劑量,促進了離子的精確註入和離子通量的增加。機器還具有多種安全功能,如禁區,以防止由於過度給藥或其他高能粒子進入敏感區域而對關鍵部件造成意外損壞。Except 300AH旨在為各種應用(包括半導體器件的植入)提供精確離子植入操作的出色控制。它是一個可靠和先進的設備,為離子植入操作提供了卓越的過程控制和準確性。
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