二手 NISSIN NH 20SP EX #293603084 待售

NISSIN NH 20SP EX
ID: 293603084
晶圓大小: 8"
優質的: 1996
Medium current implanter, 8" (4) Carrier cassettes (2) Electrostatic electrocodes Swing-arm scan mechanism Parallel beam implantation Dose uniformity control In-situ parallelism and uniformity monitor Large-tilt-angle implantation Implantation modes: Step rotation / Angle step 1996 vintage.
NISSIN NH 20SP EX是由NISSIN Electric Co設計制造的最先進的離子植入器和顯示器。Ltd.它是為各種材料的基板提供可靠、精確、高效的光束覆蓋而建造的。NH 20SP EX使用高功率電子槍(HPG)生成離子,然後將其加速到基板上進行植入。這款離子植入器配有高精度、照明的標線和機動化的舞臺,可精確對準,高效二維掃描,光束覆蓋均勻。它可以提供可接受的廣泛的光束電流和能量,使其適合多種植入應用。NISSIN NH 20SP EX利用多通道植入物監測器,由三個Lambda二極管組成,用於連續測量植入物參數。該監視器可以很容易地檢測到操作參數的微小變化,快速補償任何缺陷以維持所需的植入過程。NH 20SP EX還具有Y光束成形系統,可防止生成任何次級離子。這進一步促進了對任何尺寸基板的均勻光束覆蓋。此外,集成的精密定位系統允許對基板表面進行高度精確的光束居中。為確保安全和操作效率,NISSIN NH 20SP EX設有封閉式互鎖門。這些門既是安全裝置,也是提供不間斷服務的手段,以最大限度地提高生產力。總體而言,NH 20SP EX是一種通用、精確、高度可靠的離子植入器和監視器.它具有廣泛的先進特點,是任何材料基材可靠、精確、高速植入的理想選擇。
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