二手 NISSIN NH-20SR #293637187 待售

NISSIN NH-20SR是日本制造商NISSIN Electric Works開發的離子植入和監控設備。配備高精度離子源，最大束流容量達20mA。該系統由多褶狀射頻離子源、離子束延伸管、雙位移束線、高能量植入的高質量束線單元、X-Y掃描單元、高壓多通道電源、數字輸入控制器、高靈敏度數字顯示監視器組成。NISSIN NH 20SR是離子植入、反應性離子蝕刻和離子植入及加速順序工藝應用的理想選擇。它能夠在從低到高的不同能量下植入各種離子如B、He、P、Si、As和Cs。該單元提供極寬範圍的電源電壓，高達60 KV，具有很高的光束電流調節能力。多束輸出允許高精度植入調節。NH-20SR是一款用戶友好的臺式植入器,具有獨特的人體工程學設計,易於處理,維護更少。它可以有效地實時監測植入過程和結果，用數字讀出監視器顯示光束電流和植入劑量率。NH 20SR可用於研究和制造雙結太陽能電池、晶體管和MEMS器件。該機具有嵌入式三步高精度徑向磁場，可精確引導離子束植入薄基板。它在低噪聲水平下運行，具有很高的收集效率，允許減少對基板的損壞和高產率。NISSIN NH-20SR的另一個顯著特點是它的自我監控工具，它允許立即檢測任何在預設範圍之外的光束電流/電壓波動，並有助於防止設備制造故障。NISSIN NH 20SR由於其先進的特點和運行可靠性，廣泛應用於各種高新技術產業生產具有高產產量的耐用可靠的高性能器件。其顯著的成本效益、緊湊的設計和易於維護,使其成為制造工廠、研究和工程機構以及大學的理想解決方案。