二手 NISSIN NH-20SR #9144958 待售

NISSIN NH-20SR是專門為高精度離子植入應用而設計的可靠高效的離子植入器和監控設備。該系統旨在有效、準確地監控植入物參數，自動控制工藝參數，準確測量植入矽片殘留損傷等重要參數。NISSIN NH 20SR采用多模離子源，使其能夠高效準確地植入從硼到高原子序數（Z）材料的不同材料，並包括離子光學控制，用於精確的光束操縱。單位的離子束掃描儀可以控制離子束的光斑大小，而不影響離子能量和劑量。NH-20SR具有任務計算機,允許自動數據采集、處理和存儲,以實現高效操作。NH 20SR工具還配備了安全功能,以保護人員和敏感設備。它包括自動激光安全聯鎖和能量離子探測器.它還有一個活性的殘留粒子離子監測器，以觀察過程汙染。NISSIN NH-20SR具有強大的自動化能力,能夠提供植入參數的精確控制.這包括控制植入前離子束電流、植入前束能量、植入後束電流和植入後束能量的能力。該資產還可以監測植入劑量和模型精度。其中包括自動化測試功能,可提供有關流程質量的快速反饋。NISSIN NH 20SR的監控系統為植入過程參數提供準確可靠的監控。這包括測量光束能量和電流、光束位置、晶圓電流和電阻以及晶圓損壞的能力。也有專門的監測功能，如劑量依賴性反沖範圍、劑量監測測試分析、束瞬態測試分析等。NH-20SR具有強大的數據存儲和分析功能，包括植入物參數數據存儲和批量數據存檔。它還支持實時顯示系統信息、圖形測量和數據分析的數據分析和設備監控。總體而言，NH 20SR是在各種應用中進行離子植入和監測過程的高效、準確和可靠的單元。其先進的自動化功能、強大的監控功能以及強大的數據存儲和分析功能,使其成為尋求精確控制和精確測量以滿足植入需求的用戶的絕佳選擇。