二手 NISSIN NH-20SR #9226070 待售

NISSIN NH-20SR Ion Implanter&Monitor是一種最先進的技術,用於將離子植入基材中。這種多用途、緊湊、可靠的機器為植入物提供精確的離子束成像以及精確的光束控制和工藝參數。有兩個6軸控制器和高精度陰極電機，允許光滑，一步離子植入。NISSIN NH 20SR是一種非常耐用和可靠的離子植入器和監控器，設計在最具挑戰性的條件下表現良好。它由可調腔室/氣室、離子源、真空泵送設備、光束成形元件和控制系統組成。腔室/電池是一種耐氫化物的不銹鋼襯裏容器，能夠在6 x 10-4 Torr的壓力下運行。離子源是一種具有6個可調陰極眼元件的線性類型，允許優化離子束參數。它還包含一個由渦輪分子泵、一個旋轉擺錘和一個門閥組成的真空泵送單元，該閥設計用於保持腔室內穩定的真空水平。NH-20SR還包括一個光束成形部分，該部分由可配置為正極或負極性植入的網格透鏡以及可調整以微調離子束角度的聚焦透鏡組成。控制機是一個三步可編程、用戶友好的界面，用戶可以根據所需的參數調整離子的植入。此外,還將實時監視器連接到該工具,以便實時監視流程參數。NH 20SR是任何需要精密離子註入的人的理想解決方案。它是一種高度可靠和可調的資產，肯定有助於提高任何離子植入過程的效率和質量。耐用可靠的設計與直觀的控制模型相結合，使這種離子植入器和監視器成為從事離子植入領域工作的人的寶貴工具。