二手 NISSIN NH-20SR8 #293642812 待售

NISSIN NH-20SR8是一種精密的離子植入器和監控設備，旨在提供精確、高質量的離子植入各種底物。該系統能夠向大面積的固定、可變或混合基板輸送高電流和高劑量。它具有自動基板操縱器（ASM）,能夠以不同的劑量範圍和不同的光束速度植入不同能量的離子,以精確控制植入剖面。在性能方面，NH-20SR8具有較大的波束電流範圍4-20mA，最大電壓能力為300千伏。光束電流穩定時間為≤3毫秒，離子能量範圍為0.01-200keV。該單元可以容納多達6英寸的晶圓，也能夠精確操縱基板以達到最佳效果。NISSIN NH-20SR8還與最先進的離子監測器集成在一起，可用於控制離子束輪廓，並能準確檢測植入的離子。監視器精確測量植入離子的劑量和電流水平，並實時顯示在監視器屏幕上。它也有預設的程序提供各種植入和監控選項。NH-20SR8堅固可靠，可精確控制植入過程。它具有內置的安全功能,具有防止機器在不安全的情況下不正確操作或損壞的鎖定機制。此外,它還配備了PC/PLC接口,可輕松集成到工業自動化系統中。該工具還可以編程為連接到其他外部設備，如冷卻器、真空泵和驅動器。總體而言,NISSIN NH-20SR8是一種功能強大且用途廣泛的離子植入器和監控器.它具有先進的功能,可確保植入配置文件的精確控制和監控精度,並具有強大的安全性和集成功能。這使得它成為各種基材中、大批量生產的理想選擇。