二手 NOVA GEPM 17 #9233716 待售

ID: 9233716
System.
NOVA GEPM 17是高科技產業的離子植入器和監控器。它旨在使正離子能夠精確地植入矽半導體晶片等基板中。這為晶片提供了現代技術所必需的優良的電氣特性。GEPM 17由幾個組件組成,包括一個離子源、一個質譜儀、一個能量分析儀以及幾個探測器。離子源產生一束離子束,這些離子束沿著加速度管向下加速。質譜儀然後分離和識別離子的種類和測量它們的能量分布。能量分析儀然後根據用戶定義的參數控制和修改每個離子種類的動能。最後,探測器測量壓力、電流和離子束發射速率。用戶可以通過直觀的軟件界面配置NOVA GEPM 17的運行參數。這些參數包括離子的類型、其能量、總通量、光束形狀、生產速率和持續時間、電源監控、壓力監控以及其他高級設置。使用這些參數,用戶可以精確地調整和控制任何復雜晶片的植入過程。GEPM 17還可以實時監控和記錄流程數據。這樣的數據包括系統的溫度和壓力、電極的電流讀數和光束功率。這有助於用戶進一步微調流程,直到達到最佳條件。此外,它還提供了每個植入步驟的日誌,可用於進一步的分析和參考。總體而言,NOVA GEPM 17是一種高度先進、堅固可靠的離子植入溶液。其特點、監控能力和用戶友好的軟件為植入處理提供了一個全面和可訪問的平臺,使行業能夠從其精確度和效率中受益。
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