二手 NOVA T500 #9233720 待售
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NOVA T500是一種先進的離子植入器和顯示器,用於制造集成電路.它能夠高速註入離子，這對於集成電路的制造是必不可少的。它使用通過真空室的高電壓（HV）離子束，產生一個被引導到晶片上的離子束。然後將離子束聚焦到單個基板上。T500利用可編程控制設備優化離子植入過程的效率。NOVA T500利用掃描系統，通過掃描源和目標來控制離子束；這樣可以將梁精確地引導到基板上的不同位置。此外,還加入了一個反饋單元來監視和控制梁參數,如梁的大小、形狀、能量和電流。這樣可以確保光束正確聚焦,以便在基板上進行精確的材料沈積。T500還具有一個多區域腔室，它允許不同的植入劑量在基質上的多個位置。這樣可以在整個基板表面進行微調和均勻的材料沈積。此外，NOVA T500配備了一個先進的電離室，在植入過程之前提供離子源的完全電離。這樣可以使離子束在參數上更加均勻性和準確性。T500還配備了專門的監控機器，用於監控波束參數和工藝環境，以便檢測任何變化或異常。此外,還使用實時診斷工具檢測NOVA T500操作中的任何問題。這確保了整個植入過程的最大效率和可靠性。T500由於其優越的性能、精確度和可靠性，是集成電路制造的理想選擇。它為高精度、均勻性的離子植入提供了強大可靠的平臺。此外，其專用的監控資產確保了植入過程的準確和高效進行，提供了最佳效果。
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