二手 PVA TEPLA Evolution II Twin #293605828 待售

PVA TEPLA Evolution II Twin是一款最先進的離子植入器和監視器。提供卓越的可靠性、高生產吞吐量、高質量的植入和監控。其高功率激光二極管技術提供高效有效的粒子處理。Evolution II Twin的模塊化設計允許操作員將其配置為將特定類型的離子植入半導體晶圓中。它包括一個低能調制離子源、一個高能調制離子源和一個脈沖離子源。低能可調制離子源提供了調節離子能量和類型的能力，並提供了能量、脈沖持續時間和調制能力可變的同位素和離子的選擇。高能調制離子源使操作員能夠在植入過程中改變離子能量和類型，並提供一系列高能離子，從而能夠使用高速離子進行操作。脈沖離子源提供了準確快速地植入特定類型離子的能力。它能夠以廣泛的脈沖持續時間和能量植入，允許高通量的操作與精密植入物。PVA TEPLA Evolution II Twin的自動化光束傳輸設備使用精密的計算機控制的機電執行器，快速準確地將離子從源頭輸送到植入區。它包括三個獨立的平行路徑，每個路徑都有自己的光束監測系統，能夠在植入過程中同時監測每個光束。Evolution II Twin的另一個關鍵特點是其先進的冷卻單元，它去除了植入過程中產生的熱量，以維持最佳的植入條件，並確保可靠的結果。該冷卻機采用水冷門工具，以確保無與倫比的冷卻穩定性。PVA TEPLA Evolution II Twin還設有診斷監視器，使操作員能夠不斷檢查植入的準確性。此外,它還能夠通過其以太網接口執行放射性測量和向其他計算機廣播過程數據。總之，Evolution II Twin是一款高性能的離子植入器和監視器。其模塊化設計和特性陣列使操作員能夠準確控制用於植入的能量和離子類型，從而實現優越的晶圓質量。強大的冷卻設備可確保最佳植入溫度,而強大的診斷和以太網接口可確保可靠性和安全性。