二手 PVA TEPLA Evolution II Twin #9354499 待售

PVA TEPLA Evolution II Twin是一款先進的雙束離子植入器和監視器。這種最先進的工具為離子植入、監測和控制提供了先進的技術能力。PVA TEPLA Evolution Twin擁有全尺寸8「端站和6」側站，提供了更大的靈活性和吞吐量。大功率監視站允許精確的過程控制。此外，先進的光束對準設備確保了高精度的能量、電流和側面輪廓控制。這樣就減少了顆粒堆積，減少了表面汙染，從而提高了整體工藝質量，減少了機器停機時間。Evolution II Twin利用具有可互換插件的高級梁線,允許您配置系統以獲得最佳性能。光束線設計靈活，額定高劑量率，並結合專有的線性掃描和分割技術。它還具有快速變化的離子源和健壯的源持有者，可以在幾分鐘內互換源。先進的材料和設備監控單元通過實時光束電流報告以及自動光束離線檢測和錯誤報告為您提供質量保證和過程控制。其他功能還包括集成的偏置調諧機，用於晶圓級的高精度可控性，以及直接監控離子能量和光束強度的實時濺射監視器。PVA TEPLA Evolution II Twin有一個直觀的用戶界面，設計有用於優化設備和流程監控的高級警報和診斷，以及用於追蹤和流程執行記錄的集成數據記錄工具。簡單易用的高級軟件提供了簡單的參數操作和增強的流程可重復性。總體而言,Evolution II Twin是一款功能強大的工具,專為實現靈活性而設計,並優化了流程質量、吞吐量和可靠性。憑借先進的離子輸送資產、集成的監控、直觀的用戶界面，它是市場上領先的離子植入器和監控器之一。