二手 SEN NV-10SD-160 #9181751 待售

SEN NV-10SD-160是島津公司開發制造的用於半導體應用的離子植入器和顯示器。它是一種高度通用、經濟高效且直觀的設備,在植入時提供卓越的性能。NV-10SD-160利用可變能量剝離（VES）技術通過廣泛的目標實現均勻的植入物輪廓。一旦確定了目標材料，就可以設置一個優化的充電序列，以優化所需最大劑量的轉移效率。該系統還具有六軸對準和補償單元，可以在所有植入物角度產生高度均勻的植入物。此外，該機器還配備了在線植入後診斷，使用戶能夠監測植入的低能量穩定性。該工具的最大效率為160 keV,三級加速電壓為12、42和160 keV。每個階段的俯仰角可由0調整至90度，以容納不同方向的植入物。機械光束聚焦功能允許隨時優化光束性能,光束散度小於0.1 mrad。憑借緊湊的模塊化設計和高功率功能,SEN NV-10SD-160無需占用大量空間即可輕松安裝。該資產提供冷卻能力，以防止過熱和熱產生的離子植入工件。該型號還裝有真空進料系統，可實現較高的生產率，以及真空設備，能夠保持高於10-7 Torr的真空水平。此外，該系統還配備了先進的晶片處理程序，提供快速、準確的晶片定位，以及最佳晶片吞吐量。NV-10SD-160還與廣泛的IC測試儀和電子顯微鏡兼容，使其容易融入更廣泛的生產線。總體而言,SEN NV-10SD-160是一種功能強大且用途廣泛的離子植入器和監控器,在植入高精度和高產半導體器件方面具有極好的穩定性、可控性和準確性。