二手 SEN NV-10SD-80 #9181750 待售

SEN NV-10SD-80
ID: 9181750
High current implanter, 6".
SEN NV-10SD-80是一種最先進的離子植入器和顯示器,旨在為高精度離子植入提供高效可靠的解決方案。它具有四個植入離子源,主要來源是一個四極離子源,最大電流為8mA,可用於淺角度植入高達80 keV的範圍。該設備還具有二次源,即電流為1mA的三極管離子源,以及另外兩個RF型離子源。NV-10SD-80能夠對離子束的劑量和參數進行高速掃描和編程,還能提供束電流、能量和劑量的閉環反饋。利用3軸真空機械手,方便樣品裝卸。此外,SEN NV-10SD-80還配備了數字顯示器,可實時控制植入過程。該監視器為操作員配置植入參數以及監視和控制離子束電流、能量和劑量參數提供了一個用戶友好的界面。它還有一個內置的安全系統,允許安全和可靠的實施過程。NV-10SD-80的集成精密編碼器和基於微處理器的控制系統保證了高精度和劑量精度。它還具有一個溫度控制的離子源室和一個低真空室的樣品持有者。此外,該設備還配備了高速自動數據采集和分析系統,可以為每個樣本生成詳細的結果。SEN NV-10SD-80專為電子、半導體制造和其他工業工藝領域的廣泛應用而設計。可用於進行各種植入過程,如基質級摻雜、薄膜沈積、界面層、表面處理等。總體而言,NV-10SD-80是一種高效可靠的離子植入器和監控器,為成功的實施過程提供了所需的精確度和準確性。
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