二手 SEN / SUMITOMO EATON NOVA / AXCELIS Disk for NV GSD-HE #293649983 待售

ID: 293649983
晶圓大小: 8"
8".
SEN/SUMITOMO EATON NOVA/AXCELIS Disk for NV GSD-HE (GSD-HE)是一種離子植入器和顯示器,設計用於大容量材料處理。它用於沈積和監測霧化粒子的各種應用,包括半導體制造、微電子器件生產和離子註入。GSD-HE具有先進的電阻反饋型離子植入器,由於其優化的設備設計,實現了極高的精度運行。該系統使用J形離子源快速、準確和高效地植入材料,無論其大小、形狀或異質性如何。GSD-HE還采用先進的基板支撐,提供三維基板控制,以及高分辨率的「窗口」監視器,允許用戶觀察離子束隨時間的偏轉。GSD-HE還具有高性能的光學探測器,能夠對被植入或沈積的材料進行極其精確的測量和控制。該探測器由一臺高分辨率CCD攝像機組成,並配有一個用於監測離子束形狀及其對比度的防真空光學快門。該單元還集成了高精度壓力傳感器,允許高度精確的氣流控制,提供更高效的運行和提高吞吐量。此外,機器還有一個熱成像設備,用於精確確定刀具的溫度,從而提高其穩定性。GSD-HE具有創新的3D刀具,可實現復雜的地形結構(如3D凸起模式),並具有微掩模分辨率。這是該資產的一個獨特特點,使其能夠在多個層面上高效處理需要不同植入材料的大體積多層材料。在操作中,3D刀具沿X、Y和Z軸移動目標基板,可以精確調整每個植入層的深度和形狀。此外,該器件還能精確處理微電子器件組裝中使用的微小部件,這對高精度材料加工具有重要的參考價值。GSD-HE具有非常大的控制和數據處理能力,適合大容量物料加工和復雜的地形結構。它具有功能強大的64位CPU,為高速、高精度的數據處理提供了超過20.5 tera的處理能力(TOPS)以及高速隨機存取存儲器(RAM)和16 GB的閃存。此高效型號還具有以太網端口、IEEE1394和兩個USB端口,可連接到Internet和其他外部設備,從而實現高效的數據通信、信息傳輸和存儲。總體而言,SEN Disk for NV GSD-HE是一種獨特的高級離子植入器和監視器,可實現高度精確和復雜的材料過程,如3D凸起模式和微電子設備裝配。其高精度、高通量的設備設計,使其成為大型材料加工應用的絕佳選擇,讓用戶獲得異常準確可靠的效果。
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