二手 SEN / SUMITOMO EATON NOVA / AXCELIS NV-GSD-80 #293636198 待售

SEN/SUMITOMO EATON NOVA/AXCELIS NV-GSD-80是一種高效、精確的離子植入器和監控器。它旨在使半導體器件的制造簡單、準確。SEN NV-GSD-80基於兩個基本過程：光束掃描和旋轉.第一個過程，光束掃描，用於將離子植入晶片，而第二個過程，旋轉，用於旋轉晶片和保持均勻覆蓋在基板上。AXCELIS NV-GSD-80構建的光束直徑範圍很廣,從20mm到1150 mm不等。這樣可以精確控制植入顆粒的劑量速率和角度範圍。這樣可以確保實現所需的植入,而不會對基板造成任何損害。NV-GSD-80配有一個電源，可以容納多達120kV人。發電機能夠產生高電壓，達到高達2A的峰值電流。這允許精確植入各種離子，如磷、硼、碳和氧。SUMITOMO EATON NOVA NV-GSD-80的監視器設計用於連續監控輸送到晶圓的劑量和電流。它有兩個主要組成部分：脈沖計時器和光電倍增管.脈沖計時器產生連續的數字信號，提供光束強度場和基板上任意位置的劑量信息。光電倍增管檢測在離子註入過程中產生的光脈沖。收集和分析這些信息，提供關於植入過程的反饋。SEN/SUMITOMO EATON NOVA/AXCELIS NV-GSD-80旨在提供高質量的植入而不會對基質造成任何損害。這是通過利用其強大的電源、光束掃描和旋轉過程以及精確監測的劑量和電流傳遞來實現的。SEN NV-GSD-80也易於使用，並允許植入過程的精確構象。這一切使得它成為制造半導體器件的理想選擇。