二手 SEN / SUMITOMO EATON NOVA HE3 #293792242 待售

SEN/SUMITOMO EATON NOVA HE3是一種先進的離子植入器和顯示器，為高精度植入而設計，可靠性極佳。它為生產高級集成電路提供了高質量和無與倫比的性能。SEN HE3是一個用途廣泛、成本效益高的平臺,可在一系列流程中提供生產級植入。它還為穩定和可重復的植入提供了先進的過程控制。最先進的SUMITOMO EATON NOVA HE3具有兩級射頻發生器、先進的梁線幾何形狀以及令人印象深刻的精確度和創新的工藝工具。遠光束電流為各種材料和工藝參數提供了有效的植入。此外，HE3還結合了近光束發散和遠光束電流，以有效地註入離子。這些參數的組合使得這一系統非常適合淺層和深層操作的植入。SEN/SUMITOMO EATON NOVA HE3強大的控制軟件可幫助用戶實現卓越的可重復性和準確性。控制系統監測所有關鍵參數，包括能量、光束發射電流、光束電流密度、均勻性、相聲和粒子組成，以優化植入。它還具有配方驅動的自主過程,使用戶能夠輕松設置植入操作。SEN HE3強大的高頻電源即使在充滿挑戰的環境條件下也能確保穩定的運行和精確的處理。它還提供了過溫保護和低功耗操作，以便可靠和長壽命的操作。SUMITOMO EATON NOVA HE3以其快速的循環時間、先進的工藝控制、可靠的操作和穩健的工程設計,是高精度生產IC的最佳選擇。其卓越的性價比使得它非常適合大多數植入需求。