二手 SEN / SUMITOMO EATON NOVA NV 10-80 #9269133 待售

SEN/SUMITOMO EATON NOVA NV 10-80是一款先進的電氣離子植入器和顯示器,主要為商業半導體行業設計。這種先進的工具由SEN/Sumitomo-Eaton生產，廣泛用於將各種離子植入基質中。該裝置有助於創建一個具有高分辨率離子註入的原子定義的底物。SEN NV 10-80利用帶有400-kV RFQ超導體的靜電加速器，將離子加速到10-80 KeV的能量範圍。該裝置具有雙離子束源，允許基於多種材料的批處理模式植入。該裝置由倒4象限磁鐵電源供電，以提高等離子體穩定性。此外,該設備還具有用於掃描和安裝基板的定位器。SUMITOMO EATON NOVA NV-1080針對半導體行業中的各種設置進行了優化,例如光束輪廓、半徑和角度。光束電流可以用功率脈沖源控制，並且是可調的，以允許有效的離子註入基板。陽極采用可變調節設計，能夠控制離子束能量和電流。該設備在植入過程中支持廣泛的主動和被動監控。例如，該裝置具有激光測量、光束電流校準、陽極調節、電子倍增器等功能。原位監視器允許實時顯示離子註入參數，並在發生波動時調整參數。除了監測植入過程外,SEN/SUMITOMO EATON NOVA NV-1080還提供光束電流調節、電壓校準和數據存儲等功能。集成的數據存儲功能使用戶能夠存儲和查看植入數據以進行進一步分析。總之，NV-1080是一種主要為商業半導體工業設計的先進的電子離子植入器和顯示器。這種裝置能夠提供高分辨率的離子植入與可調能級，電流，位置，和更多的。此外，該設備在植入過程中提供了一系列主動和被動監控，從而能夠實時監控植入參數。最後，集成的數據存儲功能為用戶提供了存儲和查看植入數據的能力。