二手 SEN / SUMITOMO EATON NOVA NV 10SD-160 #9288565 待售

SEN / SUMITOMO EATON NOVA NV 10SD-160
ID: 9288565
晶圓大小: 6"
Ion implanter, 6".
SEN/SUMITOMO EATON NOVA NV 10SD-160是一種高性能的離子植入器和顯示器,設計用於各種工業和研究應用。該機器能夠將離子加速到3,000伏的能級,並確保極其精確和可重現的植入深度、形狀、劑量和輪廓。植入器裝有一個6分流柵格,它產生一束發散的離子束,允許在基板上產生均勻的摻雜。這樣可以確保離子以一致角度放電,從而獲得更準確的結果。SEN NV 10SD-160還采用了熱燈絲陰極,一種電子發射器,與熱電子或場發射陰極系統相比,它允許更高的電流密度。這些先進的組件提供了高度的精確度和快速的彈幕速率,從而大大提高了吞吐量水平。該系統還包括多項高級功能,如多通道電子監視器和高頻缺陷監視器。電子監視器允許精確測量掃描速率,而缺陷監視器可以檢測離子離子碰撞和沿束路徑可能發生的任何擾動。該系統采用模塊化設計,可高度配置。它可以與各種輔助設備集成,以實現遠程監控,以及數據記錄和可視化。SUMITOMO EATON NOVA NV10SD-160是一臺功能極其強大且可靠的機器。其先進的組件使其能夠以極快的彈幕速率提供極其精確和可重現的植入深度、形狀、劑量和輪廓,從而顯著提高吞吐量。它具有高度的可配置性,允許集成各種組件,而且其強大的診斷功能使其適合一系列工業和研究應用。
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