二手 SEN / SUMITOMO EATON NOVA NV-GSD-80 #9144963 待售

SEN / SUMITOMO EATON NOVA NV-GSD-80
ID: 9144963
晶圓大小: 6"
Implanter, 6".
SEN/SUMITOMO EATON NOVA NV-GSD-80是一種離子植入器和監控設備。它主要用於設備制造的半導體制造過程,被認為是集成電路生產管道的重要工具。具體來說,該裝置控制一個電壓電位的傳遞到一個底物,使受控數量的摻雜離子可以植入到底物的表面。因此,可以更改設備的電氣特性,並且通過添加處理層,可以提高設備功能的完整性。在硬件方面,SEN NV GSD-80離子植入器和監控系統由一個電子源、一個槍能量器、一個加速器、一個引導和轉向組件、一個控制器以及一個分析和測量單元組成。電子源是一種小電子束,能夠通過轟擊底物材料產生大量離子。槍的增能器用於控制電子束的方向和強度。接著是加速器,它有助於將離子推向底物。導軌和轉向組件負責通過機電操作控制和引導離子軌跡,而控制器負責監督設備的整體運行。最後,采用示波器和電壓測量等多種方法對離子植入質量進行監測。在控制和操作方面,住友EATON NOVA NV GSD 80離子植入器和監控器高度可定制,易於使用。它的用戶界面設計方便,允許快速調用參數調整和配方管理,這使得操作這個工具的微風。此外,它還具有自動晶圓處理資產以及確保總體性能優化的自檢模型。最後,它還支持實時狀態監控,並具有用於快速故障排除和軟件修補程序的集成故障診斷設備。總體而言,SUMITOMO EATON NOVA NV-GSD-80離子植入器和監控器是一個可靠的系統,能夠在高精度水平上進行精確的離子植入。它是一種經濟高效的裝置,旨在提供對離子註入過程的終極控制。憑借其功能和方便的特點,這一單元是半導體制造方面的一個寶貴工具,目前被視為行業領先的技術。
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