二手 SEN / SUMITOMO EATON NOVA NV-GSD-80 #9268769 待售

SEN/SUMITOMO EATON NOVA NV-GSD-80是一種離子植入器和監控設備，設計用於涉及離子植入半導體、陶瓷和玻璃等材料中的應用。它具有極高的精度和性能，適用於需要持續監控和精確控制亞微米特性的應用。系統利用離子源產生帶電原子或分子，然後通過電場將其植入材料中，從而形成微觀特征。接下來是監測過程，使用電子顯微鏡和其他儀器測量亞微米特征。然後利用這些數據來調整植入參數並優化其性能。SEN NV GSD-80具有高性能離子植入器，最大光束電流為80mA，固定光束能量為2.5keV。它包括一個X-Y機械手，可以用來獨立調整沿兩個軸的光束。它還有一個自動晶圓傳輸單元，用於定位和加載晶圓。機器的監控單元有一系列儀器和傳感器，用於測量和監控植入過程的結果。它擁有檢查亞微米特征的電子顯微鏡工具，以及多個探測器，包括法拉第杯、光電二極管探測器和撞擊電離探測器。它還具有光束控制資產，可用於調節光束電流、光束尺寸和光束位置，以優化植入過程的結果。該模型還包括用於分析植入前後材料元素和同位素的粒子質譜儀。它還包括用於分析材料組成及其他化學和物理性質的能量色散光譜儀。設備配備了數字控制單元，可以讓用戶調整光束電流、植入深度、光束能量等各種參數。它還有一個網絡接口，用於連接計算機和其他網絡，從而實現對系統的遠程訪問和控制。總體而言，SUMITOMO EATON NOVA NV GSD 80是一款先進的裝置，設計用於在材料中植入離子，精度高，性能高。它具有高性能的離子植入器、電子顯微鏡，以及多臺用於監測植入過程結果的探測器和傳感器。它還有一個用於調整各種參數的數字控制單元，以及一個能夠實現遠程訪問和控制的網絡接口。