二手 SEN / SUMITOMO EATON NOVA NV-GSD-A-80 #293637081 待售
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SEN/SUMITOMO EATON NOVA NV-GSD-A-80是一種高性能的離子植入器和監視器。它旨在提供最佳的過程控制和功能強大的軟件，以確保最高的植入精度，可重現和均勻性。它有一個帶水平軸的鎖載室，允許用機器人機械手裝卸多達4個晶圓。此外，它還配備了兩個獨立的腔室，以實現高能和低能的植入。SEN NV-GSD-A-80具有三軸掃描系統,由X軸、Y軸和Z軸組成,可提供精確的光束分布和劑量控制,從而能夠高精度地植入超細圖案。它配備了一個可移動的光束軸，可以方便地調整不同植入過程的光束位置。掃描系統還裝有高溫加熱器，樣品可安裝在該加熱器上加熱至1000 °C。SUMITOMO EATON NOVA NV-GSD-A-80配備了幾個監控系統，以確保植入過程按照具體要求進行。這包括一個法拉第出口探測器，一個法拉第杯傳感器，一個石英晶體微平衡，一個離子平衡監測儀和一個X射線bremsstrahlung輻射。NV-GSD-A-80還擁有一個先進的軟件，具有用戶友好的界面，用戶可以實時控制和監控植入過程。軟件包含許多功能,例如設置、監視和控制過程參數、設置和監視高級材料分析、訪問配方文件和召回功能。最後，SEN/SUMITOMO EATON NOVA NV-GSD-A-80是一種先進的離子植入器和監控器，提供最先進的過程控制和分析能力。鎖載室、3軸掃描系統和多個監控系統，再加上受控軟件，讓用戶能夠根據自己的需求，靈活調整和監控植入過程。
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