二手 SEN / SUMITOMO EATON NOVA NV-GSD-A-80 #293748591 待售

SEN/SUMITOMO EATON NOVA NV-GSD-A-80是一種用於半導體加工和研究的離子植入器和監控器。它被設計為一種可靠和通用的工具,可滿足高級和低批量的工藝需求。SEN NV-GSD-A-80具有多種離子植入和數據收集功能。它有一個可以容納300毫米晶片的大型新源室。源室由不銹鋼制成，保證壽命長，提供低真空環境，是高品質植入物再高加工率的理想選擇。離子源是國際公認的Penning離子源,它提供了卓越的靈活性和卓越的效率。它還具有可調光束快門和可調快門速度設置，以適應變化的處理需求。監測光束聚焦以減少汙染和其他變量。SUMITOMO EATON NOVA NV-GSD-A-80還擁有一個先進的監視器，可以檢測過程中任何異常離子的存在，以幫助確保最佳的植入結果。監視器允許對離子束能量和方向進行精確控制，以提供最高的植入結果。NV-GSD-A-80還配備了一系列數據收集功能。它可以用來監測特定能量和方向的劑量率，或者在處理一批晶圓後記錄植入結果。它還具有長期的數據收集功能，通過多個晶圓批次和過程跟蹤植入結果。這可以為用戶提供反饋，看看是否需要對植入物參數進行任何更改，以提高產量和性能。SEN/SUMITOMO EATON NOVA NV-GSD-A-80還提供了一個用戶友好的圖形界面，使其易於設置和使用。它包括各種工具來幫助優化植入過程，包括設備模擬器、數據繪圖工具和過程瀏覽器實用程序。它還支持植入配方，這有助於自動化植入過程和減少設置時間。總體而言,SEN NV-GSD-A-80是一種可靠且通用的工具,可用於高級和低容量半導體處理。它對植入過程和數據收集提供了高度的定制和控制，有助於提高產量和性能。