二手 SEN / SUMITOMO EATON NOVA NV-GSD-HC3 #9131090 待售

SEN NV-GDS-HC3是SUMITOMO EATON NOVA Corporation開發的三軸離子植入器和顯示器。它旨在將離子精確地植入和監測到半導體材料中。NV-GDS-HC3的離子束源由能夠形成寬離子束或分離離子束用於多束註入的多束離子槍組成。多束形成由電子槍、分離入口質譜和離子加速度組成。離子槍設計為供應具有優異半導體特性的高濃度純離子束。該NV-GDS-HC3配有多區再循環質量過濾器設備，用於從離子源分離所需離子。循環質量過濾器系統由分離離子能量和電荷的氣體質量過濾器和清除汙染物和不良元素的循環質量過濾器組成。為了準確監測離子植入過程，NV-GDS-HC3的傳感單元測量植入位置、離子種類和離子濃度。利用光學監測技術確定植入目標的高精度三維參數。此外，機器還配備了記錄所有植入和監控數據的數據記錄功能，用於分析和記錄保存。該NV-GDS-HC3還采用了光束限制器工具（BLS），可以精確控制離子束的光束寬度、形狀和電勢，以優化其均勻性，提高效率。BLS允許用戶在過程中調整梁的參數以提高精度。NV-GDS-HC3的Center Drive Asset向任何方向提供高分辨率對稱運動,允許用戶植入與其他植入系統相比需要更高精度的復雜模式。該模型還允許2mC/cm的最大雙極輸出，適用於大量集成電路的廣域植入物。綜上所述，SEN/SUMITOMO EATON NOVA NV-GDS-HC3是一種三軸離子植入器和顯示器，設計用於半導體工業，用於精確植入和監測。多束離子槍、質量濾波器設備、傳感系統、光束限制器單元、中心驅動機為最苛刻的植入要求提供了綜合解決方案。