二手 SEN / SUMITOMO EATON NOVA NV-GSD-HE #293603723 待售

SEN/SUMITOMO EATON NOVA NV-GSD-HE是住友公司製造的離子植入器和監視器。它是一種成本昂貴、高端、多束離子植入器,能夠輸送多束電流至2mA（具有兩組分離的光束源以實現高通量能力）和最大能量至60keV。該模型提供均勻的摻雜分布和出色的控制，以允許精確的深度和位置控制植入物劑量。它配備了6軸運動控制設備和掃描光束電流監視器，可以檢測到光束電流的小異常和變化。SEN NV GSD-HE植入器具有獨特的電子槍設計,具有提供均勻離子束輪廓的「多面」鏡面系統、即使改變撞擊角也能保持光束方向精確控制的「扇形」光束轉向器和自動「光束有效性檢查器」,可防止隨機粒子進入光束線。利用離子槍的自穩特性和精確的光束線控制，這些先進的單元參數為精確的劑量控制和精確的位置控制提供了極可重復的過程。植入過程是自動化的，由一臺精密的實時計算機控制；軟件功能管理所有植入記錄和程序參數,用於操作和維護。此外，整個過程中的監測工作是由植入室內的眾多探測器和外部探測器聯合完成的，兩者都與先進的計算機控制工具相連接。此外，該資產還包括一個專用粒子加速器，以確保具有高度穩定和均勻光束的一流結果。利用其六極離子光學器件和光束參數的數字控制，保證了模型的離子控制方法和能量穩定性，即使相應的工藝要求變化。為了確保植入物的可持續性和保證植入物的最高質量，SUMITOMO EATON NOVA NV GSD HE離子植入物已被全球工業咨詢委員會按照國際標準進行了廣泛的測試和認證。NV GSD HE植入器具有卓越的吞吐量、高生產率和高精度,具有先進的計算機控制設備,具有優化的光束對準和量身定制的軟件。它還提供了出色的可重復性和操作可靠性,允許長期使用,降低了每個流程周期的成本。