二手 SEN / SUMITOMO EATON NOVA NV-GSD-LE #9181516 待售

SEN/SUMITOMO EATON NOVA NV-GSD-LE是一種離子植入器和監控設備，設計用於控制和監測離子植入過程的特性。該系統具有先進的工藝控制能力，能夠達到晶圓均勻性、最高產量、產品質量和可靠性的最高水平。該設備還提供了完全集成的解決方案,用於保持晶圓溫度均勻性、最大程度地減少熱損壞和防止電路板損壞。機器由植入器、顯示器和控制器組成。植入器是工具的主要部件，由離子源、束形成單元、目標和植入器基座組成。它提供了必要的離子束，有助於達到晶圓植入所需的特性。監控單元由高靈敏度傳感器組成，測量離子束強度、電壓和電流值，並允許精確控制植入過程。最後，控制器為整個資產提供過程自動操作所需的控制信號。該模型能夠進行各種植入過程，包括硼、砷、磷、矽、氙、鋁、的植入。此外，它可以同時用於單步和多步植入過程，使多個離子物種同時植入到同一晶圓中。此外，該設備還可用於Trench和Near-Field植入物。SEN NV-GSD-LE配有集成的溫度控制系統，有助於確保晶圓均勻性，最大限度地減少熱損傷。由於其高精度（± 3°C）和不同溫度控制設置的可用性，它非常適合植入基於Si和非基於Si的材料。此外，該裝置還能夠控制粒子的加速和減速，並提供必要的初步化學過程。SUMITOMO EATON NOVA NV-GSD-LE還具有多種安全措施，有助於確保安全的工作環境。這包括在發生任何異常時緊急關閉開關，以及確保植入過程以低噪音進行的氣密隔音室。最後，NV-GSD-LE提供了一系列自動化和控制離子植入和監測過程的功能。通過提供高精度、短周期時間和精確監控,該機器是廣泛應用的理想解決方案。