二手 SEN / SUMITOMO EATON NOVA NV-GSD-MC3 #9144965 待售

SEN/SUMITOMO EATON NOVA NV-GSD-MC3是用於先進半導體加工的離子植入器和監控設備。它專為低電流、高分辨率植入而設計，可根據各種工藝步驟和離子源的需要量身定制。該系統集成了溫度和壓力控制、能量調制、光束阻塞、電流集成等多項功能，確保了最佳工藝效果。SEN NV-GSD-MC3是一種具有70厘米控制室的20厘米鑄幣源離子植入物，允許廣泛的植入參數和實施技術。可用於創建淺結和深結植入，以及提供低電流的高分辨率植入。該單元包括一個數字離子監測器，以確保準確的劑量和離子的遏制。除了能夠創造廣泛的植入參數和技術外，該機還配備了高壓電源、集成的質量流控制器以及溫壓控制工具。這允許了最高的過程穩定性和準確性，以及最佳的植入植入過程。由於采用了各種光束阻斷技術，如光束分裂或散射，保持了晶圓之間的高均勻性和可控能量分布。資產還使用先進算法控制等離子體中的氣體均勻溫度分布，有助於提高過程穩定性和生產率。此外，該模型還能夠整合來自多個來源的電流，以及用數字離子監測器監測和分析植入光束。SUMITOMO EATON NOVA NV-GSD-MC3是一種先進的植入設備，旨在提供先進的植入性能和控制。適用於多種應用，包括淺、深結植入，以及低電流高分辨率植入。該系統以各種光束阻擋技術、溫度和壓力控制以及電流集成等方式設計，以提供最佳的過程穩定性和精度。