二手 SEN / SUMITOMO EATON NOVA NV-GSDIII-180 #9148222 待售

SEN/SUMITOMO EATON NOVA NV-GSDIII-180是一種用於半導體加工的高端離子植入器和監控器。該設備具有光學和電子設備的獨特組合，可實現精確植入和減少材料的熱幹擾。該系統配備了先進的軟硬件組件，使其在運行過程中達到超高精度。SEN NV-GSDIII-180利用高分辨率光束位置監測器（HRBPM）技術進行定量、準確的植入和監測。利用該監視器，該裝置能夠精確控制植入能量水平、目標速度和劑量率，確保高分辨率和可重復精度。機器還配備了二次電子檢測器（SED），允許詳細數據收集不同材料對離子註入的反應。SUMITOMO EATON NOVA NV GSDIII 180通過包含圖形植入工具（GIS）的圖形用戶界面（GUI）進行控制。這個GIS允許操作員預設離子種類、速度、束電流等變量來調整植入。其他功能包括計算機化的圖書館搜索、診斷監視器、數據收集、監視器數據記錄、直方圖輸出和各種預設動力學參數。該資產有能力植入各種材料，如矽、砷、矽碳酸鹽、​​的。它還支持多種配置，包括單晶片、多晶片、批次、雙面和多級植入。NV GSDIII 180采用堅固的不銹鋼結構,並具有冷卻風扇,以確保模型的一致運行。它配備了多項安全功能，包括令牌環互鎖設備、光束轉儲和集成的射頻屏蔽，以確保操作員的安全。該系統還具有許多在線數據分析選項,如輻射分析實用程序或網絡接口終端。為了進一步確保質量和一致性，SEN NV GSDIII 180配備了故障安全觀察裝置，防止滲入碎片堆積，並保持腔室清潔。此外，先進的真空密封監測機可以對工具中的真空壓力進行精確的監控。NV-GSDIII-180是一種最先進的離子植入器和監控器，能夠提供高度精確和可重復的植入和監測。它配備了包括高分辨率束位置監控器、二次電子檢測器、計算機化庫搜索和圖形植入資產在內的多種功能。此外，其堅固的結構和安全特性保證了模型的可靠運行。