二手 SEN / SUMITOMO EATON NOVA NV-GSDIII-180 #9244723 待售

SEN/SUMITOMO EATON NOVA NV-GSDIII-180是為晶圓級摻雜而設計的離子植入器和顯示器。它為各種基材材料提供精確、可重復的離子植入參數。SEN NV-GSDIII-180包括一個計算機控制的離子源、兩個獨立的槍線控制、一個集成的監控設備和一個高真空系統。SUMITOMO EATON NOVA NV GSDIII 180利用電腦化離子源，可以產生具有最佳截面大小和形狀的高精度離子束。離子源能夠掃描晶片的各個區域。它還可以即時脈沖不同的光束區域，以實現最佳的植入。兩條獨立的槍線提供了對植入過程的精確控制。這些線條可以針對各種參數進行調整，包括斑點大小和能量，以及基板溫度。SEN/SUMITOMO EATON NOVA NV GSDIII 180的集成監控單元在植入晶圓時提供光束輪廓和光束能量的實時反饋。這臺機器還允許用戶在流程發生時進行監控,從而確保最佳性能。高真空工具在離子註入過程中提供了優越的腔室穩定性。此資產旨在維持小於1 x 10-6 Torr的真空。它還可以防止植入過程中室內的任何汙染或退化。NV GSDIII 180是晶圓級摻雜的理想解決方案。其計算機控制的離子源、兩條獨立的槍線、集成的監控器模型和高真空設備使其成為創建精確、可重復離子植入參數的理想解決方案。客戶可以對SEN NV GSDIII 180的離子植入器和顯示器的準確性、精確度和可重復性充滿信心。