二手 SEN / SUMITOMO EATON NOVA NV-GSDIII-90 #9181903 待售

SEN/SUMITOMO EATON NOVA NV-GSDIII-90離子植入器是一種高性能設備，用於以精確的深度和寬度輪廓將各種離子精確植入基板。它被設計用來處理一系列的底物，如矽、移植物、砷化氙和金剛石。SEN NV GSDIII-90可以容納廣泛的離子種類，從質子到鋰。它也能在不同溫度下植入離子。該植入器采用單光束線真空設備，具有2級機械真空減速器。這種減速器使離子能夠以受控的速率通過系統，也防止它們擴散到目標基板上。SUMITOMO EATON NOVA NV GSDIII 90具有高精度的聚焦和掃描單元。這臺機器使設備能夠在整個植入過程中保持穩態光束強度和聚焦。該工具還使其能夠提供均勻的離子植入深度剖面，也能在晶圓面上加工均勻劑量的扁平基板。SEN/SUMITOMO EATON NOVA NV GSDIII-90配備了增強的離子植入監測資產，提高了其準確性。模型的操作由車載計算機監控，該計算機跟蹤操作參數，如離子電流、電壓、停留時間和光束能量。這種監測設備還有助於在植入物相關異常影響晶片質量和工藝產量之前進行檢測和隔離。該計算機還可用於存儲植入數據以進行進一步分析。SUMITOMO EATON NOVA NV GSDIII-90是一種高度可靠的自監測離子植入物和監測器。它具有安全機制，以減少因高放射性而發生事故和故障的風險。該設備經過了安全性、準確性和可靠性的徹底測試,以確保能夠提供一致的高質量結果。