二手 SEN / SUMITOMO EATON NOVA NV GSDIII-LE #293746345 待售
網址複製成功！
單擊可縮放
ID: 293746345
High current ion implanter
CTI-CRYOGENICS Cryo-10 Cryopump
SUZUKI SHOKAN Compressor
RWA-012J-BE07CBD Chiller
Moving type: Disk type
End station
Analyzer
Power rack
Source terminal
Chiller
Compressor
Transformer
Power box
Disk flow switch panel
Main water panel
Controller
Power supply
Helium Hose
Cable
Utility rack
Hood cover
Accessories
Gas box
(3) SMIF
Bottom plate
Monitor rack
PC.
SEN/SUMITOMO EATON NOVA NV GSDIII-LE（GSD3-LE）是住友電氣和伊頓公司最近開發的一種高級離子植入器和顯示器。該設備最適合高精度、低水平的植入過程。它利用了復雜的先進技術，如多網格成分加速度、光束控制和最先進的離子光學。GSD3-LE的多功能性使其非常適合SEMI規格配置文件、植入物工藝開發和生產、先進的植入物工藝控制、超精確植入等多種應用。利用一個專門設計的離子源，它可以達到光束能量高達30KV。該源也可以使用Ar或SF6氣體操作，以最大程度地減少源停機維護。該GSD3-LE使植入物種類繁多，精度低，光束控制可靠。其專有的激光傳輸源提供高端沈積速率，以實現對整個掃描範圍內光束能量和方向的精確控制。多柵格加速部分提供了穩定線性的植入物輪廓，從而保證了高品質的植入物。綜合設施控制系統使整個植入過程的編程控制變得簡單無縫。其高精度光束電流監測每個植入物具有自動晶圓保持功能，有助於減少過程的可變性。該GSD3-LE還具有光束診斷功能,使工程師和技術人員能夠觀察、研究和分析光束在中間過程以及植入過程開始/停止時的確切行為。綜上所述，SEN NV GSDIII-LE是一種先進的離子植入器和顯示器，適用於高精度、低水平的植入過程。其先進的技術和設計使其能夠實現精確的光束控制和高精度的植入物輪廓。憑借其集成的設施控制系統和光束診斷功能，為植入物工藝的開發和生產提供了可靠易用的平臺。
還沒有評論