二手 SUMITOMO SWA-90GD #9210360 待售

SUMITOMO SWA-90GD
ID: 9210360
晶圓大小: 8"
Laser anneal system, 8".
SUMITOMO SWA-90GD是一種高度可靠和通用的離子植入器和監控器.它旨在滿足半導體工業的低能和高能植入應用的需要。SWA-90GD以其先進的算法、優化的配置和新的排放源技術,提供了一個出色的植入解決方案。住友SWA-90GD配備了最先進的光束控制設備,提供優越的光束輪廓預測和高度精確的監控。它具有雙射流離子光學器件,能夠通過選擇單束或多束構型來掃描廣泛的能量分布。此外,該系統有一個數模轉換器,提供快速和精確的信號處理。集成的離子源能夠提供廣泛的離子,包括BN(硼)、P(磷)、As(砷)、Ge(移植物)、Ga(移植物)、Cs(移植物)。此外,SWA-90GD能夠同時控制多達四門源炮。它還具有一個適應性強的離子植入表面,允許調整和移動一個集成樣品支架的背面。SUMITOMO SWA-90GD還具有多種監控功能,提供實時數據以確保最佳的植入性能。它包括內置電源和溫度監測,完全可調精確控制。此模型還支持增強植入幾何(EIG)監控單元,為用戶提供主動離子植入區域的全面視圖。此外,SWA-90GD還帶有易於使用的圖形用戶界面(GUI)。這個用戶友好的界面簡化了編程和操作,允許各種操作之間的平穩過渡。此外,SUMITOMO SWA-90GD與各種第三方軟件包兼容,確保無縫集成到現有的生產環境中。總體而言,SWA-90GD是一種先進的離子植入器和監控器,非常適合許多低能量和高能量的植入應用。SUMITOMO SWA-90GD具有可調離子源、多用途光束控制工具和EIG監控資產等前沿功能,是業界領先的植入性能卓越的工具。
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