二手 ULVAC IDZ-8001 #9284131 待售

ULVAC IDZ-8001 Ion Implanter&Monitor是一種先進的離子植入設備，旨在向各種底物傳遞精確的離子流度。該系統采用高分辨率、超精密的光束電流和電壓控制單元，對光束參數進行連續最優控制，以提高植入質量。強大的IDZ-8001平臺由離子源和光束控制單元兩大要素組成。離子源旨在利用現有的最先進的電離方法，為稀有和稀有氣體離子提供有效和可靠的電離。離子源還具有集成中和室，以確保離子註入的最大效率。離子源中使用的先進電離方法允許優化各種植入過程參數，提供更大的過程靈活性和一致性。ULVAC IDZ-8001的光束控制單元為植入過程中的光束參數提供了準確、穩定的監控。其先進的控制算法確保了有效的植入，並最大限度地減少了錯誤的影響。該機配備了強大靈活的聯鎖工具。此資產允許用戶保護細膩的基板免受意外植入條件的損害。此外，互鎖模型還具有隨時監測離子流度和能量的能力，以最大限度地提高植入精度。IDZ-8001還使用了獨特的高精度光束存在檢測器來獲得最佳的光束精度。該探測器能夠以亞微米分辨率檢測X和Y方向上離子束的存在。光束存在檢測器使設備能夠快速準確地調整光束參數，以實現物理和電氣形式的最佳植入。ULVAC IDZ-8001是一種功能極其強大且精確的離子植入器和顯示器,專為要求苛刻的應用而設計.其強大的離子源、光束控制單元、互鎖系統和光束存在檢測器確保了植入過程中的最大效率、準確性和靈活性。先進的控制算法和互鎖單元確保了精細基板的最大安全性，提供了無與倫比的植入精度。