二手 ULVAC IDZ-8801 #154974 待售

ULVAC IDZ-8801是一種離子植入器和監控設備.它是一種多功能離子植入器，可用於植入各種離子，如硼、磷、砷、濃銨和鋁。該系統具有大植入室和隔板單元，以減少電荷汙染。這樣就可以在厚度均勻性和劑量設置方面實現高度精確和精確的離子植入。設計用於處理質量範圍高達56 amu的重離子型植入物。植入器還具有位於植入物室的直視光學機器，便於實時控制植入物輪廓。IDZ-8801具有內置的監控工具，可以實時測量植入物劑量、均勻性和輪廓。這一資產包括一個高度敏感的X射線熒光探測器，用於測量離子產生的二次電子，以及一個法拉第杯來測量束電流，這對於提供精確的劑量控制至關重要。它還提供了高放大倍率發射離子的視覺圖像，用於監測植入物位置性能和相對劑量分布，確保植入物在規範範圍內進行。ULVAC IDZ-8801先進的PFG（等離子體聚焦離子槍）光學器件使用戶能夠修改植入物輪廓,以更好地控制其目標形狀。該模型得益於低植入角和計算機化的阻斷設備，從而最大限度地提高了服務的產量。離子植入器和監控系統還具有先進的集成運行結束監控器，可確保植入物符合規格，優化設備的吞吐量和產量。此外,IDZ-8801還配備了電子玻璃探測器來檢測缺陷.電子玻璃檢測器使用電子束來檢測高分辨率和精確度的缺陷。ULVAC IDZ-8801在磁帶放置和植入物輪廓選擇方面提供了高度的靈活性,從而對最終產品提供了更大的控制。該機還具有簡單的軟件操作,便於機器操作和遠程控制.此外，該工具還提供全面的安全功能，包括安全導軌和真空聯鎖。此外，額外的安全功能，如警報門和外殼保護有助於確保最高級別的安全。