二手 ULVAC IH-860 #9068889 待售

ULVAC IH-860
ID: 9068889
晶圓大小: 6"
High current ion implanter, 6".
ULVAC IH-860是一種最先進的離子植入器和監控器。它是一種節油裝置,專門設計用於在各種底物上快速準確地加精確定義的離子。IH-860的速度和精度使其成為原型和批量應用的生產運行的理想選擇。它配有脈沖控制的高分辨率光束電流監控器和幾種方便離子註入的專家功能。ULVAC IH-860使用先進的光束傳輸設備進行各種註射。該系統包含兩個用於離子束掃描的軸,這些軸可以提供快速且精確的光斑尺寸。它還配備了一個HV窗口,用於恒定和均勻的植入條件。此外,IH-860還具有多種整體安全特性,一個用於除氣的除氣器和一個便於材料裝載的漏鬥。ULVAC IH-860采用先進而直接的控制單元。它不僅使操作更簡單,而且為用戶提供存儲過去實驗數據的能力。此外,高級維護和診斷協議最大程度地減少了對定期維護或機器崩潰的需求。這使得工具在任務上的時間更有效率。此外,由於先進的節能技術,IH-860具有很高的能效。ULVAC IH-860是創建、維護和改進各種產品的理想工具。它可靠、精確,可大幅減少每次植入的時間,只需10分鐘。它旨在通過一系列專有功能提高吞吐量和性能,使其成為任何需要精確和精確離子註入的應用程序的理想選擇。
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