二手 ULVAC IPZ-9001 #293675960 待售
網址複製成功!
單擊可縮放
ID: 293675960
晶圓大小: 6"
優質的: 1995
Ion implanter, 6"
Monitor controller
(2) Helium compressors
Oscilloscope
Scan chamber
Endstation
Platen
(2) Red box chambers
Red box
Flow meter rack
Main controller, PD
Power rack
Rotary pump1
PMB001CM Rotary pump, D‑750DK Drive
(3) Door panels
Set of floor panel
Pallet 1:
(4) Lamp bulbs
(4) Lamp upper covers
(6) Ion gauges
(3) Ion gauge covers
Isolation tube
Divider
Acceleration tube
ADIXEN Pascal Rotary vane pump, frame
Pallet 2:
Oil trance
Manometer assembly
Pallet 3:
High‑voltage Stack
(2) Earth bars
Pallet 4:
Foot base plate
Docking bracket
(4) Covers
Pallet 5:
UL180P5G1222 High‑voltage power supply, base assembly
Exhaust duct assembly
Box
1995 vintage.
ULVAC IPZ-9001是為先進的半導體制造應用而設計的最先進的離子植入器和顯示器。該儀器是摻雜具有精確雜質量的半導體材料的關鍵工具,從而能夠創建高性能的集成電路。IPZ-9001的核心是其離子植入設備,它利用一個復雜的過程將摻雜離子引入半導體基板的表面。這一過程涉及產生一束高能帶正電荷的離子,將其加速到高速,然後將其植入目標材料中。離子穿透基板表面,改變其電性能,產生所需的摻雜輪廓。ULVAC IPZ-9001的主要特點之一是其先進的光束線設計,確保了對離子束參數的精確控制。該系統配備了一套靜電和磁性透鏡,可以精確聚焦和操縱離子束。這種控制水平對於實現尖端半導體器件所需的確切摻雜濃度和分布曲線至關重要。IPZ-9001的另一個重要方面是它的高能離子源,它能夠產生能量從幾keV到數百keV不等的離子。這種廣泛的離子能量允許在摻雜各種類型的半導體材料和結構時具有靈活性。此外,該裝置具有多用途的離子種類選擇能力,能夠使用不同的摻雜元素來量身定制半導體器件的電性能。在監控方面,ULVAC IPZ-9001配備了一整套診斷和反饋機制。該機具有先進的光束電流和能量監測傳感器,可提供離子束參數的實時數據。這些信息對於確保離子植入過程的穩定性和一致性以及檢測任何偏離所需摻雜規範的情況至關重要。此外,IPZ-9001還集成了先進的自動化和軟件控制功能,以實現高效的操作和過程優化。該工具配有直觀的用戶界面和軟件工具,使用戶能夠輕松編程和執行復雜的離子植入配方。此外,還可以將資產集成到更大的半導體制造系列中,從而提供無縫的數據交換和控制連接。總體而言,ULVAC IPZ-9001代表了半導體制造中離子註入的前沿解決方案。其先進的束線設計、高能離子源、監控能力和自動化功能使其成為實現下一代半導體器件所需的精確摻雜輪廓的不可或缺的工具。憑借其高性能和多功能性,IPZ-9001正準備推動創新和推動先進半導體技術的發展。
還沒有評論