二手 VARIAN 1000 #9404414 待售

VARIAN 1000是一種用於半導體制造的離子植入器和監控器。用於將離子物種植入矽片基板表面，創造所需的電特性。1000是一種輻射、直流和脈沖離子植入器，具有較大的過程腔和多級加速度。VARIAN 1000中使用的離子源屬於Frank-Bodesheim型，可以將雜質引入最小線寬為1um的晶圓中。在交付過程中，梁被操縱和成形；1000支持對齊掃描、離子調制、能量調制和總離子電流都在同一晶圓運行中。VARIAN 1000設計用於提供遠光束電流、高電荷質量比以及在高達300 °C的溫度下長期運行。植入器具有低溫冷卻設備，可以有效地操作源和目標；這有助於保護晶片材料免受熱損壞。利用用戶友好的設置、控制和數據收集工具，通過基於Windows的界面監控其計算機控制的流程。采用的圖像分析和控制系統允許實時監測過程結果，獲得的圖像最大分辨率達到0.1微米。1000還包括一個光束數字監測單元，用於精確測量光束電流、位置和長寬比。這是由雙發射監測儀完成的，監測儀放置在全波束重叠點和最小波束強度的位置。總體而言，VARIAN 1000是一款先進的離子植入器和顯示器，以其高清攝像機和廣泛的數據收集能力，適合工業規模生產。它可以節省公司在芯片制造過程中的時間和資源,而不會犧牲質量或性能。