二手 VARIAN 108578002 #149059 待售

VARIAN 108578002是一種高性能、高精度的植入器和顯示器,用於處理復雜的半導體晶片.先進的離子源技術提高了光束電流穩定性，提供了更大的靈活性，保證了可重復運行。它是高度自動化的真空設備,可確保最小的停機時間和較低的操作成本。它具有創新性的離子源設計和輕量級結構,減少了系統尺寸,提高了可維護性.108578002離子植入器設計精確度和可靠性，為處理各種植入操作提供了多種特性和功能。它正在申請專利的360度旋轉離子源通過提供植入物操作的完全旋轉，可以提供靈活性和增加覆蓋率。它具有多個獨立的離子源和光束成形光學器件，使設備對植入物參數有更好的控制，並實現了工藝優化。VARIAN 108578002離子植入器還具有激光放電監測（LDM）機.這種先進的監測工具利用激光光電傳感器對離子束進行精確的感測。它允許對植入過程進行精確控制，並提供包括總劑量、能量擴散、束電流和方向在內的植入參數的精確反饋。108578002還包括高級設備控制,為用戶提供易於使用的界面。它提供了對植入物參數的完全控制，包括速率、能量擴散、劑量、束角和峰值電流。此外,它還提供了流程日誌記錄功能,允許用戶保存和調用歷史記錄數據,以改進流程控制和可追蹤性。它具有收集顆粒的智能廢物管理資產，確保所有進入模型的材料都得到適當的處理和處理。VARIAN 108578002還包括一個獨特的粒子密封設備，利用先進的吸收、過濾和密封技術來減少粒子擴散和汙染。108578002是處理高端半導體結構的基本系統,可提供最佳性能、精度和精度。它的高級設計和高級功能為用戶提供了一個可靠的植入器單元，可以確保以準確和可重復性的方式實施關鍵過程。