二手 VARIAN 120-10 #293652761 待售

VARIAN 120-10
ID: 293652761
晶圓大小: 5"
High current ion implanter, 5".
VARIAN 120-10是一種先進的離子植入器和監控設備,用於實現對半導體器件中所需電荷分布的精確控制。該植入器具有光滑穩定的操作和高精度的離子束。集成監視器可以精確控制光束電流和植入均勻性。此模型具有多種特性,使其成為芯片制造商在工藝準確性和可重復性方面的理想工具。它包括一個允許極其精確控制的單軸系統。該機器具有最先進的數字信號處理器,可確保範圍的準確和穩定定義,以及先進的診斷和安全單元。這臺機器確保不再植入合適的離子。此外,它還具有先進的離軸掃描功能和可提高流程重復性的離線棘輪腔室。該機器利用高度準直的質子束,能夠生產高精度的高均勻植入物,這在業界是無與倫比的。使用數字信號處理器時,光束電流可控制到最小電流0.01mA和最大10mA。再者,光束能夠產生多種角度,並具有廣泛的植入深度,以及優化的顆粒範圍,這保證了每個裝置在整個批次中都具有相同的特性。120-10還具有先進的用戶界面,包括內置的診斷和安全功能。這使用戶能夠監視該工具並確保正常運行。此外,用戶界面還包括一個實時反饋資產,可幫助用戶管理植入過程並在必要時進行更改。該模型還包括一系列軟件選項,這些選項能夠優化流程,以及確保每次運行都以所需的植入均勻性完成的精度模式。總體而言,VARIAN 120-10是一款先進的離子植入器和監控設備,具有多種功能,旨在幫助制造商獲得均勻準確的植入物。它的集成監視器提供了對植入過程的精確控制,同時其用戶界面確保了操作的簡便性和最大的過程效率。尋找能改善芯片制造工藝的先進系統的制造商應考慮120-10。
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