二手 VARIAN 120-10 #9068892 待售

VARIAN 120-10
ID: 9068892
晶圓大小: 5"
Ion implanter, 5".
VARIAN 120-10離子植入器和監控器是一種廣泛的離子植入過程的通用、可靠的解決方案。它具有獨特的振動進料設備,確保在植入物樣品上均勻的離子分布和精確的劑量輸送精度。自校準離子源和光束光學器件的設計旨在優化重元素的植入,並覆蓋高達120 keV的能量範圍。監控模塊提供全方位電源,以適應各種植入參數,包括能量、光束電流、光束位移和植入時間。還配備了遠程診斷控制系統,對所有關鍵參數進行精確監控。120-10還具有一個集成工藝單元,可用於調節氣體壓力、溫度、背景電壓和磁場,用於不同的植入操作。這臺機器的設計目的是提高整個過程的效率和提高吞吐量。此外,該機還配備了一個光束電流監視器和輪廓監視器工具,有助於對準和優化植入過程。VARIAN 120-10還具有幾個安全功能,可以保護用戶,確保操作過程中的安全。它配備了真空互鎖資產,可以用來關閉梁,保護梁線、屏蔽和其他部件免受超壓或快速失控的條件影響。此外,機器還包括緊急情況下的緊急停止按鈕.總體而言,120-10離子植入器和監測器是任何離子植入過程的可靠解決方案。其多功能的設計和集成的安全特性為用戶提供了可靠操作的信心。該機器的設計涵蓋了高達120 keV的各種能量,確保了準確的植入結果。再者,其調節氣體壓力、溫度、背景電壓和磁場的能力可以優化植入過程。
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