二手 VARIAN 120-10 #9269114 待售

VARIAN 120-10
ID: 9269114
晶圓大小: 5"
High current ion implanter, 5".
VARIAN 120-10是一種最先進的電弧和濺射離子植入器和監視器,允許在樣品表面上精確控制和選擇性放置材料。這臺機器使用穩定、健壯的離子源,具有精確的重復性和持續的調諧能力,用於工藝優化。憑借其先進的微米級控制,120-10可以利用離子束將沈積材料精確布置。除了精確控制光束設定點和植入條件外,VARIAN 120-10還提供詳細的工藝監控能力。它可以被編程為監測植入過程的濃度、速率和能量,以確保關鍵參數保持在範圍內,並提供關於沈積如何進行的反饋。設備配備了高靈敏度能量分析儀,使用戶可以測量和控制植入材料的能量並確定其成分,同時還可以檢測工藝樣品中的雜質和汙染物。系統中的八通道直讀離子電流監測器非常適合保持所有植入物的準確性。120-10的特點是模塊化腔室設計允許在基材尺寸和要植入的材料類型方面最大的靈活性。這得到了廣泛的可用離子源的進一步支持,包括氣動、三極管和多槍,所有這些都為不同的應用提供了不同的選擇。這允許用戶為其特定進程選擇最佳來源。VARIAN 120-10專為多功能性、模塊化和用戶友好性而設計。它提供了一個直觀的圖形界面,允許用戶實時監控他們的植入過程。該單元還具有高級工藝配方和內置的專家機器,使其能夠提供過程控制見解。此工具強大的界面和報告功能使其成為流程工程師和質量控制專業人員的寶貴工具。總體而言,120-10是一種先進、可靠的離子植入器和監控器,具有精確的控制、可重復性和過程監控。它的多功能性和先進的能力使其成為半導體和電子行業專業人士的寶貴工具。
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