二手 VARIAN 120XP #293592859 待售
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VARIAN 120XP是由VARIAN Semiconductor Equipment Associates, Inc.開發的離子植入器和顯示器。設備由離子植入器和顯示器兩個部件組成。離子植入器利用高能的離子束將材料的區域密集地植入目標基質中。它以光柵掃描模式工作，允許高度精確控制植入區域。該監視器旨在測量、記錄和分析植入過程中的數據，以確保獲得最佳結果。VARIAN 120 XP設計用於半導體行業的動態關鍵器件應用。它提供了多種特性，使其特別適用於離子植入，包括一個大的工作區域，一個強大的光束控制電極，以及一個高性能蝕刻室。此外，該系統與多種植入源材料兼容，包括硼、磷、砷和喹。其優化的光束擴散還可以使植入物準確地放置在大型基質上。120XP設有一個先進的監控單元，以幫助確保植入準確準確地進行。它配有兩個獨立的控制面板，一個用於顯示器，一個用於植入器，用於測量植入過程中光束的參數。這包括植入過程中的束電流、能量流度、入射角和能量範圍等。此外，植入器和監視器被設計為在觀察到任何不規則性時自動暫停，從而在必要時能夠快速、輕松地進行校正。120 XP還利用了高級安全程序。機器設計得盡可能安全，所有維護工具所需的人員都比許多其他離子植入器離光束更遠。此外，該室本身是用高輻射屏蔽材料建造的，以保護工作人員免受任何危險輻射排放。總體而言，VARIAN 120XP是一種先進且功能強大的離子註入資產，設計用於生產半導體器件。它具有多種特點，特別適用於高精度裝置植入物，包括高功率光束控制電極、大工作區和先進的監控模型。此外，其結構安全高效，是優質生產的理想選擇。
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