二手 VARIAN 120XP #9226120 待售

VARIAN 120XP
ID: 9226120
晶圓大小: 6"
High current ion implanters, 6"
VARIAN 120XP是一種離子植入器和顯示器,設計用於半導體生產環境中的最大性能和準確性。該設備是VARIAN 110XP離子植入器的高級版本。它可以通過兩個獨立的振動束系統提供均勻一致的離子註入。VARIAN 120 XP是一個可靠且具成本效益的系統,配備了兩條帶三個加速器的模塊化光束線(MBL)、一個鏟子平臺、兩個掃描磁鐵和集成的射頻偏置源。它能夠以高達1,000伏/秒的速度植入,並能容納植入半導體晶片和直徑達200毫米的基板。120XP有一個直觀的操作菜單單元,並使用集成的微處理器控制來提供對植入和監控系統的精確和可靠的控制。該機器配備了自動光束對準工具和功能安全資產,並帶有警報和聯鎖裝置。120 XP的光束電流被實時監控,以驗證能量和電流均勻性。該模型還提供了必要的外部冷卻要求、穩定氣體的供應以及額外的支持電子設備,以提高植入控制的穩定性。該設備旨在為用戶提供最多600個並發植入物的參數掃描和能量掃描的最大靈活性。它還具有先進的計算機界面和圖形功能,可自動分析和繪制參數掃描數據。此外,VARIAN 120XP內置了環境傳感器,使其能夠自動調整植入參數,以準確應對環境變化,如脫氣或汙染物的存在。這樣可以節省用戶在生產線上的時間和精力。總而言之,VARIAN 120 XP是一種可靠且經濟高效的設備,專為最優質的生產植入物和更高的生產產量而設計。憑借其全面的設計、易用性和先進的監控能力,它勢必成為任何現代化生產設施的重要組成部分。
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