二手 VARIAN 1500 #9404415 待售

VARIAN 1500是一款高電壓、高電流、高分辨率的離子植入器和顯示器設備，專為最大、最苛刻的離子植入需求而設計。1500能達到高達7.51014 離子/cm2的劑量，提供廣泛的劑量範圍，以及高植入精度和可重復性。它有一個16路晶片卡盤，可以與一個4英寸的Quad Chuck結合，以實現高達8英寸的晶片植入。它具有很大面積的均勻電子束，以避免汙染和最小化能降低劑量均勻性的束變窄。VARIAN 1500包含了多項功能來提升其能力。這包括允許用戶控制、監視和診斷系統的數據采集軟件。晶圓位置和旋轉的實時監控確保了植入物的準確以及儲存和執行多達1024個配方的能力。它有一個用於提高電導率的集成平面化模塊，以及一個用於優化晶圓邊緣修剪的有源芯片輸出制導單元。監視器機器還為用戶在植入過程中提供了樣品的清晰視圖，能夠在圖像頂部畫出線條或圓圈來精確引導光束。1500可以與選擇的VARIAN輔助系統集成，以進一步提升其運行。這包括實時反饋工具,它可以比標準系統更好地檢測和校正植入過程中的光束漂移,Focus Tuning Asset,它允許用戶微調光束邊緣的焦點,以及汙染監控模型,以提高真空設備性能。它還可以與VARIAN劑量校正器系統集成，以確保無論操作條件如何都能準確的劑量遞送。總體而言，VARIAN 1500是大型離子植入需求的絕佳選擇。其強大的光束、大劑量範圍和集成輔助系統的範圍使其非常適合用於先進半導體材料的生產、研究和開發。它易於使用和靈活的配置確保任何離子植入任務的最佳性能。