二手 VARIAN 1510 #9026280 待售

VARIAN 1510離子植入器是一種高精度、高性能的設備，主要用於半導體工業中，用於將離子植入半導體等材料上，以改變其電性能。它也被用於保險業和生物化學等其他工業應用。1510提供高級離子植入性能；采用多種植入角和多種電流密度，設計用於高精度地植入離子。其先進的軟件和硬件系統提供精確的植入質量和吞吐量。植入操作參數存儲在XML文件中,允許快速輕松地進行設置更改。緊急停止按鈕、互鎖和安全圖標為用戶提供了額外的保護。VARIAN 1510由離子植入器模塊、離子質量監測器、高壓饋線、負載鎖定單元和多噴頭構成。植入器模塊產生高壓光束，將離子植入晶圓中。質量監測器收集離子並分析離子相對於主集合點的能量和質量。高壓饋線提供植入離子所需的束電流。負載鎖裝置的設計目的是在腔室內保持指定的大氣，並防止外界汙染。多噴頭最多可編程四根獨立的光束。1510離子植入器和監控器是在各種工業應用中植入離子的可靠且經濟高效的解決方案。其精確度和準確性確保了所需的結果得以實現。其用戶友好的界面有助於最小化設置時間並使操作更輕松。VARIAN 1510的高級安全功能有助於保護用戶免受與離子植入相關的危害。